一、产品概述

• MFM 模式：纯质量流量测量（流量计）；

• MFC 模式：测量 + 闭环自动流量调节（流量控制器）。

  设备专为干燥洁净工艺气体设计，集成硅基 MEMS 传感芯片、宝德自研直动比例阀、内置高速 PI 调节器，具备高精度、快响应、多气体免返厂标定、总线集中组网能力，是实验室、半导体、新能源、制药、热处理行业主流高精度供气元件。

二、核心测量原理

1. 主气流经过精密层流分流结构，按固定比例分流小部分气体进入传感副通道；

2. 副通道内置一体化硅基芯片：1 个恒温加热电阻 + 上下游 2 支高精度测温传感器；

3. 恒定功率加热气流，气体流速越大，上下游温差差值越大，温差与气体质量流量呈精准线性关系；

4. 芯片内置数字化温压自动补偿，机身可储存4 组独立气体校准曲线，切换氢气、氮气、氧气、氩气等介质，现场一键切换曲线，无需返厂重新标定。

三、结构组成

1. 传感单元：原位气流 MEMS 热传感芯片，抗震动、长期校准稳定；

2. 执行阀体：宝德 2871/2873 直动式常闭比例阀，响应灵敏、线性调节平稳；

3. 控制单元：集成高速 PI 闭环控制器、流量累计器、故障诊断模块；

4. 通讯接口：模拟量接口 /büS (CANopen) 数字总线接口二选一；

5. 道阀体：标准 316L 不锈钢流道，可选防腐、卫生级材质。

四、核心技术参数（氮气为基准）

1. 流量量程

• 常规量程：0.01~160 LN/min

• 量程比：标准 1:50，可选 1:100 超宽量程；微量、中小流量全覆盖。

2. 精度与响应

• 测量精度：±0.8% 测量读数 (RD)+±0.3% 满量程 (FS)；

• 重复性：±0.1% FS；

• 稳定时间：预热 60s 稳定工作；

• 响应速度 t95：＜300ms；

• 零点：长期稳定，日常无需频繁校零。

3. 工况参数

• 介质：洁净干燥气体（N₂、O₂、Ar、H₂、CO₂、空气、惰性气体）；

• 工作压力：最大耐压 6bar，常规工作压力 0~3bar；

• 环境温度：-10℃ ~ +50℃；介质温度≤60℃；

• 防护等级：IP65；

• 功耗：常规 5.5W，峰值 9W。

4. 电气通讯

模拟量版本

• 输入给定：0~5V、0~10V、4~20mA；

• 流量反馈：0~5V、0~10V、4~20mA。

数字总线版本

• 原生：büS 总线、CANopen；

• 拓展：搭配 ME43 网关，可转 Profinet、EtherNet/IP、Modbus-RTU 等全工业以太网；

• 组网：单 ME43 网关最多挂载32 台 8742集中控制。

5. 材质与认证

• 润湿材质：标准 316L 不锈钢；

• 可选认证：ATEX 防爆（II3G/3D）、FDA、USP Class VI 制药卫生认证、EC1935 食品认证、CE、UL。

五、产品核心优势

1. 一机两用：MFM 测量、MFC 控制一键切换，备货、选型简化，降低采购成本；

2. 多气体储存：4 条校准曲线现场调用，换气体不用寄回厂家标定，节省工期；

3. 抗干扰稳定：温压自动补偿，管道压力波动、温度变化不影响测量精度；

4. 控制顺滑：宝德原厂比例阀 + 内置 PI 算法，流量无超调、无震荡，配比精度高；

5. 便捷组网：总线多机组网，适配自动化产线集中控制，布线简洁；

6. 易维护替换：搭配配置记忆卡，设备故障可一键迁移参数，快速更换备件；配套免费 Burkert Communicator 电脑调试软件，远程查看诊断、修改参数；

7. 耐用免维护：无机械磨损结构，正常工况可连续数年稳定运行。

六、主流应用行业

1. 新能源氢能：燃料电池电堆测试、氢气配比、制氢、储氢管路精准控流；

2. 半导体 / 光伏：CVD/PVD 镀膜、刻蚀工艺氩气、氮气、特种工艺气供给；

3. 生物制药：发酵罐 O₂/CO₂曝气、无菌气体输送，GMP 洁净工况；

4. 冶金热处理：渗碳、退火炉保护气配比、气氛炉精准供气；

5. 实验室科研：气体配比仪、催化试验台、气相色谱、燃烧标定设备；

6. 玻璃、电子、包装：镀膜烧结、检漏、高速灌装保护气控制。

七、选型与安装使用注意事项

1. 介质要求：必须干燥无油、无粉尘，杂质气体前端加装精密过滤器，防止堵塞 MEMS 传感通道；

2. 高危介质：氧气管路全程禁油脂；氢气高压工况提前确认耐压规格；

3. 安装：水平安装优先，避免剧烈震动，安装前吹扫管路；

4. 组网：多通道自动化产线优先选择 CANopen 总线版本；

5. 校准：日常无需校零，仅更换气体、长期闲置后调用内置曲线即可。

八、配套配件

1. ME43 总线网关：CANopen 转各类工业以太网；

2. 配置记忆卡：参数备份、设备快速替换；

3. Burkert Communicator 调试软件：参数设置、故障诊断、曲线查看；

4. 前置精密过滤器、防爆接头、卫生卡箍接头。

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