主通道内置层流分流元件,产生微压差,固定比例气体分流进入传感副通道;
副通道蚀刻硅膜片集成 1 路加热电阻、上下游 2 支高精度温度传感器;
恒定功率加热气流,上下游温差与气体质量流量呈线性对应,不受温度、压力波动干扰;
芯片内置数字化温度、压力补偿,机身最多存储 4 条独立气体校准曲线,切换介质无需返厂标定。
超高精度与稳定性
满量程精度 ±0.3% FS,测量值精度 ±0.8% RD,重复性 ±0.1% FS;1 分钟预热后长期无零点漂移,无需频繁校准。
超宽量程覆盖
标准量程比 50:1,可选 100:1;氮气基准 0.01~160LN/min,氢气 / 氦气最大 1000LN/min,微量、中大流量一台兼容。
极速响应闭环控制
内置宝德专用比例阀 + 集成 PI 控制器,95% 稳定响应时间<300ms,流量调节无超调、波动极小。
多气体免反复标定
机身存储 4 组气体参数,氮气、氧气、氩气、氢气、甲烷、丙烷、乙炔等介质一键切换。
灵活通讯,便捷组网
双版本可选:模拟量版(4-20mA/0-5V/0-10V)、总线版(büS/CANopen);配套 ME43 网关转 Profinet、Modbus TCP、EtherNet/IP,多设备集中采集控制。
耐用适配多工况
316L 不锈钢流体基座,耐中性工艺气体;介质温度 - 10~70℃(氧气介质上限 60℃),最高工作压力 25bar;支持水平、垂直任意安装。
易维护替换
配置记忆卡,整机更换直接导入参数,无需重新调试程序;模块化阀组、传感芯片可单独检修。
测量精度:±0.3% FS、±0.8% 读数
重复性:±0.1% FS
响应时间 t95%:<300ms
控制阀体:常闭直动比例阀,阀孔 0.05~8mm 可选
内置一体化 PI 闭环调节,无外置控制器
供电:24V DC ±10%
功耗:模拟型<1W,总线型<2W
模拟信号:4~20mA、0~5V、0~10V(输入输出双向)
数字总线:büS / CANopen 双协议一键切换
扩展组网:搭配 ME43 网关,支持 Profinet、Modbus TCP、EtherNet/IP;单网关最多挂载 32 台 8742
接口:M12 5 针 A 编码航空插头
流体基座:316L 不锈钢
标准接口:G1/4、NPT1/4;可选法兰、卡箍、真空接头
安装方式:水平 / 垂直无限制
环境温度:-10℃~+50℃,湿度<95% 无凝露
ATEX II 3G/D 防爆认证
USP Class VI、FDA 食品制药卫生认证
CE、EU 合规认证
新能源氢能:燃料电池电堆测试、氢燃料混合配比、制氢设备氢气流量控制
半导体镀膜:PVD/CVD 工艺氩气、氧气、氮气微量精准供气
实验室设备:气相色谱、气体配比仪、催化反应测试台
生物制药发酵:发酵罐氧气、二氧化碳、空气精准曝气控制,GMP 洁净工况
冶金 / 热处理:退火、渗碳炉氮气、丙烷、氩气气氛配比
玻璃 / 光伏:镀膜、烧结工艺保护气稳定供给
检测测试台:气体流量标定设备、气密性测试、燃烧试验台
介质必须干燥洁净,含油、粉尘气体需前置精密过滤器,避免堵塞分流传感通道;
氧气工况介质温度不可超过 60℃,管路禁止油脂污染;
高压力、大流量氢气 / 氦气工况,需提前确认阀孔规格与耐压等级;
多台组网优先选用 CANopen 总线版本,搭配 ME43 网关简化布线;
更换使用气体时,直接调用机身存储曲线,无需返厂重新标定;
安装前后建议吹扫管路,防止杂质进入阀体与传感芯片影响精度。
ME43 总线网关(CANopen 转工业以太网)
配置记忆卡(参数备份、设备快速替换)
Burkert Communicator 调试软件(参数修改、曲线校准、故障诊断)
精密气体过滤器、G1/4 转接头、真空卡盘接头
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