MFM 模式:仅实时采集气体质量流量,无调节输出;
MFC 模式:内置宝德直动比例阀 + 集成 PI 调节器,自动闭环控流;
支持 büS/Canopen 双协议一键切换,搭配 ME43 网关可转 Profinet、EtherNet/IP、Modbus TCP 等主流工业以太网,单网关最多挂载 32 台 8742。
主通路内置层流分流元件,小部分气体分流至内置硅芯片传感副通道;
芯片集成加热电阻 + 上下游两支温度传感;
恒定功率加热气流,上下游温差与气体质量流量线性对应;
芯片信号内置数字化补偿,设备存储最多 4 条气体校准曲线,切换介质无需重新标定。
超宽量程 + 微量适配
标准量程 0.01~160 lN/min(氮气基准),量程比 50:1,可选 100:1,氢气、氦气最高支持 1000 lN/min 微量大流量全覆盖。
高精度、极速响应、长期稳定
测量精度 ±0.5% FS,重复性 ±0.2% FS;毫秒级响应,校准曲线长期无漂移,减少年度复检频次;标配存储卡,整机更换一键导入参数,免现场重新标定。
一体集成闭环控制
搭载宝德原厂直动式比例阀,搭配内置 PI 控制器,无外置二次仪表,控流线性度优异,小流量无振荡、大流量调节平稳。
多通讯兼容,数字化产线适配
双版本可选:模拟信号版(4-20mA/0-10V)、纯 Canopen/büS 数字总线版;适配自动化产线、多通道测试平台集中控制。
多认证,适配严苛工况
防爆:可选 ATEX II 3G/D 防爆认证;
卫生:USP VI、FDA、EC 1935 食品制药合规;
防护:IP65/IP67 高防护,耐粉尘、水汽;
多介质兼容
空气、氮气、氧气、氢气、氦气、氩气、二氧化碳、甲烷、丙烷、乙炔等绝大多数工业工艺气体。
易维护、模块化
传感与阀体模块化结构,存储卡备份全部标定、通讯、PID 参数,设备故障替换 5 分钟恢复生产。
| 参数项 | 标准技术规格 |
|---|---|
| 产品型号 | Burkert 8742 MFC/MFM 气体质量流量计 / 控制器 |
| 测量介质 | 干燥洁净工艺气体(氧气介质温度上限 60℃) |
| 额定流量范围(N₂) | 0.01~160 lN/min;H₂/He 最高 1000 lN/min |
| 量程比 | 标准 50:1,可选 100:1 |
| 测量精度 | ±0.5% FS |
| 重复精度 | ±0.2% FS |
| 响应时间 | ≤100ms |
| 内置存储 | 最多 4 组独立气体校准曲线 |
| 工作压力 | 最大 10bar(标准 2.5bar 校准基准) |
| 介质温度 | -10℃~+70℃(氧气 - 10~60℃) |
| 环境温度 | -10℃~+50℃ |
| 供电电源 | 24VDC,功耗≤6W |
| 信号接口 | 模拟:4-20mA / 0-10V;数字:Canopen /büS |
| 组网拓展 | 搭配 ME43 网关转 Profinet/EtherNet/IP/Modbus TCP,单网关 32 台 |
| 过程接口 | G1/4 内螺纹、NPT1/4,可定制卡套 / 法兰 |
| 接触介质材质 | 316L 不锈钢(1.4404),适配洁净、微腐蚀气体 |
| 防护等级 | IP65/IP67 |
| 可选认证 | ATEX II3G/D、USP VI、FDA、EC1935 |
| 控制执行件 | 宝德直动式比例电磁阀(集成一体) |
| 控制模式 | 内置 PI 闭环调节,MFM 测量 / MFC 控流切换 |
阀体配套:6011/6013/6027 直动阀、0330 二位三通换向阀;
通讯配套:ME43 工业总线网关、ME63 以太网网关;
配件:Micro SD 参数存储卡、BUplus 调试服务工具;
新能源氢能:燃料电池电堆测试、制氢、氢燃料配比、氢气稀释配比;
制药 / 生物发酵:发酵罐氧气 / 氮气吹扫、无菌气体配比、USP 卫生工艺;
半导体 / 电子:晶圆镀膜、等离子清洗、特种工艺气体精准配比;
热工 / 材料加工:玻璃熔融、金属热处理、气氛烧结保护气控制;
实验室测试台:燃烧试验、气体混合标定、环境模拟舱;
包装灌装:惰性气体置换、保鲜气精准填充;
化工精细工艺:微量反应气体投料、催化实验流量闭环控制。
区分需求:仅监测选 MFM,需要自动调节流量选 MFC;
介质选型:氧气工况必须限定介质温度,易燃易爆气体选配 ATEX 防爆款;
通讯选型:单机简易控制选 4-20mA 模拟;多通道自动化产线选 Canopen 数字总线;
量程匹配:按实际最大工况流量 ×1.2 选型,避免长期满量程降低寿命;
卫生场景:制药食品行业需确认 USP VI/FDA 认证版本。
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