宝德类型 8741 - 气体质量流量控制器 (MFC)/气体质量流量计 (MFM

上海东庚设备工程技术有限公司是德国宝德（BURKERT）公司长期授权服务商，负责Burkert产品在国内的销售并提供技术服务。产品包括电磁阀、过程控制阀、仪器仪表、微流量阀、气动产品，广泛应用于水处理、医药化工、食品饮料生产、气体应用、医疗器械和实验室设备，Burkert在全球 Fluid Control Systems 领域处于地位，Bürkert 公司不仅是流体技术开发商，同时也是机械生产、泵技术、线圈生产、塑料技术和焊接技术方面的专家。而且还是工具制造商、软硬件开发商、配电和设备制造商、项目经理等等。此外，Burkert还负责全球许可证。对客户的定制服务不仅仅是单独开发产品，而也包括其相关的生产流程和物流作业流程。为客户订制个性化解决方案.

• 工作原理：基于热传导原理，利用热 MEMS 传感器测量。传感器直接位于气流中，内置加热元件和测温元件。当气体流动时，加热元件的热量被气体带走，测温元件检测到温度变化（ΔT），通过 ΔT 与气体质量流量的线性关系，结合 PID 控制算法，实时调节阀门开度，实现流量闭环控制。

• 主要特点

• 高精度和高重复性：测量精度可达 ±0.8% o.R. ±0.3% F.S.，误差通常≤±1% F.S.，重复性达 ±0.2% F.S.。

• 极快的响应时间：响应时间＜300ms，能快速对流量变化做出反应，适用于动态调节场景。

• 宽量程比：可调比为 50:1，可选 100:1，额定流量范围为 0.010l/min 至 160l/min。

• 通信功能强大：可配备工业以太网、模拟或现场总线接口。基于 CANopen 的 Bürkert 系统总线（büS）版本，能方便地集成到现有的 CANopen 网络中，或与 ME43 型现场总线网关结合，集成到工业以太网或现场总线的所有通用工业标准中，最多 32 个 MFC/MFM 可连接至现场总线网关。

• 配置灵活：可根据需要配置为 MFM 或 MFC，设备最多可存储四条校准曲线，方便用户针对不同气体或应用场景进行校准和切换。还可通过配置记忆卡简化设备的更换工作。

• 应用场景：广泛应用于半导体、新能源、环保、科研、医疗及航空航天等领域。例如在晶圆清洗、气相沉积（CVD）、刻蚀工艺中的气体输送控制，以及氢能系统中燃料电池的氢气流量控制等场景。

• 技术参数

• 工作介质：中性、未受到污染的气体，根据要求也可使用其他介质。

• 校准介质：工作气体或空气。

• 工作压力：10bar（145psi），对于 MFC，最高工作压力取决于阀门有效通径。

• 环境温度：-10°C 至 + 50°C，根据要求可以适用于更高的温度。

• 防护等级：IP20。

• 工作电压：24V DC。

• 功率消耗：1…3W（作为 MFM）。