流量范围广:额定流量范围为 20lN/min 至 2500lN/min,可满足不同应用场景对气体流量的控制和测量需求。
精度高、重复性好:测量精度可达 ±2% v.M.±0.5% v.E.(在 15min 的加热时间过后),重复精度为 ±0.5% v.E.,能够提供准确可靠的流量数据。
响应速度快:热内联传感器直接位于主气流中,可实现极快的反应时间,稳定时间(MFC)/ 响应时间(MFM)(t95%)<5s。
通信方式灵活:通过标准信号或工业以太网进行通信,方便与其他设备进行集成和远程控制。
阀门驱动多样:作为 MFC 提供两种规格,带电磁比例阀和带电动比例阀,可根据实际需求选择合适的驱动方式。带电动比例阀的 8745 型尤其适用于高输入压力或大流量率的用途。
配置便捷:配置存储器简化了设备更换过程,通过配置存储器可以快速将原有设备的参数复制到新设备中,减少了调试时间和工作量。